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當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心低溫和探針臺(tái)液氮高低溫探針臺(tái)PSM-4K系列閉循環(huán)低溫探針臺(tái)

PSM-4K系列閉循環(huán)低溫探針臺(tái)

產(chǎn)品簡介

PSM-4K系列低溫探針臺(tái)是一款閉循環(huán)低溫探針臺(tái),緊湊型及低振動(dòng)的設(shè)計(jì),能夠?yàn)榘雽?dǎo)體芯片的電學(xué)參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)<5K-350K高低溫真空測(cè)試環(huán)境,通過外接不同的電學(xué)測(cè)量儀器,可完成材料/器件的IV、CV、光學(xué)以及微波等參數(shù)檢測(cè),實(shí)現(xiàn)低溫真空環(huán)境下的芯片、晶圓和器件的非破壞性電學(xué)測(cè)試。

產(chǎn)品型號(hào):
更新時(shí)間:2025-08-02
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:15
詳細(xì)介紹在線留言

產(chǎn)品概述

4K閉循環(huán)低溫探針臺(tái)在科學(xué)研究和技術(shù)開發(fā)中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。它能夠在低溫環(huán)境下對(duì)樣品進(jìn)行各種非破壞性的物理性能和電學(xué)性能測(cè)試,幫助研究人員深入了解材料或者器件的各種物理性能和電學(xué)性能,從而為新材料的研發(fā)和應(yīng)用提供重要的數(shù)據(jù)支持。

PSM-4K系列低溫探針臺(tái)是的一款性能超好的閉循環(huán)低溫探針臺(tái),其緊湊型以及低振動(dòng)的設(shè)計(jì),能夠?yàn)榘雽?dǎo)體芯片的電學(xué)參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)<5K-350K高低溫真空測(cè)試環(huán)境。采用閉循環(huán)制冷,無需消耗液氦,溫度4.5K。

特點(diǎn)
• 采用閉循環(huán)制冷,無需消耗液氦,溫度4.5K。
• 探針臂的位移調(diào)節(jié)在真空腔外操作,可以在不破壞真空 的情況下,切換樣品上的不同器件進(jìn)行測(cè)試。
特別的探針臂 X-Y-Z-R四維調(diào)節(jié),能滿足4英寸樣品的測(cè)試。
• 真空腔材質(zhì)為鋁制材料,能夠有效減小外界的電磁干擾,提高測(cè)試的精準(zhǔn)度和穩(wěn)定性。
• 探針臂采用三同軸接頭,漏電性能好,實(shí)測(cè)漏電流小于100fA @1V@4.5K-350K。
• 測(cè)試溫度范圍寬,支持4.5K-350K連續(xù)變溫。
特別設(shè)計(jì)的柔性探針,將探針安裝到銅制彈片上,避免扎針過程中力量過大導(dǎo)致樣品或電極損壞。

技術(shù)參數(shù)

參數(shù)和指標(biāo):

探針臺(tái)主機(jī)分類
型號(hào)PSM-4K-2 PSM-4K-4
溫度范圍4.5K–350K4.5K–350K
控溫穩(wěn)定性+/-50mK
振動(dòng)<1μm
樣品座
類型及材料無氧銅接地鍍金樣品座
尺寸2寸4寸
可選規(guī)格
絕緣樣品座 (溫度只能到350K)
同軸樣品座 (溫度只能到350K)
 三同軸樣品座(溫度只能到350K)
探針臂
類型直流探針臂
數(shù)量4
接頭及電纜三同軸接頭+極細(xì)同軸低溫電纜
漏電流100fA@1V 真空環(huán)境中
信號(hào)頻率DC–50MHz
匹配阻抗50歐姆
位移范圍X+/- 35mm,Y+/- 12.5m
Z +/-6.5m R+/-10°
X+/- 50mm,Y+/- 12.5m
Z +/-6.5m R+/-10°
光學(xué)系統(tǒng)
顯微鏡放大倍數(shù)10–180倍
分辨率3微米
視場(chǎng)22mm
工作距離90–100mm
真空腔
材料鋁合金
腔體容積9L12L
整體尺寸900*900*600900*900*600
腔體內(nèi)徑 280mm 280mm
視窗尺寸 50mm 100mm
真空腔體窗口標(biāo)準(zhǔn)石英窗口
防輻射屏窗口 紅外吸收窗口
真空度 5E-4 torr
預(yù)留接口2個(gè)探針臂接口&2個(gè)電學(xué)接口
防輻射屏材料不銹鋼
冷卻時(shí)間120分鐘到5K150分鐘到5K
冷源 GM制冷機(jī)
專用振動(dòng)隔離桌
 尺寸800*800*800900*900*800
桌推 固定腳&滾輪


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